シリサイド触媒による多層カーボンナノチューブのプラズマCVD成長
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2004-06-10
著者
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粟野 祐二
富士通研
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粟野 祐二
慶大
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粟野 祐二
(株)富士通研究所
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二瓶 瑞久
Mirai-selete
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粟野 祐二
(株)富士通研究所ナノテクノロジー研究センター
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二瓶 瑞久
(株)富士通研究所ナノテクノロジー研究センター
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川端 章夫
(株)富士通研究所ナノテクノロジー研究センター
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二瓶 瑞久
科学技術振興機構戦略的創造研究推進事業
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二瓶 瑞久
独立行政法人産業技術総合研究所連携研究体グリーン・ナノエレクトロニクスセンター
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川端 章夫
富士通
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