リモートプラズマMOCVDによるZnOの成長(結晶成長評価およびデバイス(化合物, Si, SiGe, その他の電子材料))

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概要

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• リモートプラズマMOCVD法により酸素プラズマを用いてジエチル亜鉛(DEZn)からZnOを成長させた。有機原料DEZnのキャリアガスとして水素と窒素を用いた場合、ZnOの成長速度に違いがみられ、水素キャリアを用いた場合に成長速度が大きくなった。また、水素ガス流量とプラズマ酸素流量の割合によっても成長速度が変化した。結晶成長時のプラズマ発光スペクトルを測定した結果から、酸素プラズマと水素ガスによる相互作用による活性化学種により成長速度の増加と結晶性が向上する要因がわかった。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2003-05-08

著者

• 中村 篤志

  静岡大学電子工学研究所

• 天明 二郎

  静岡大学電子工学研究所

• 青木 徹

  静岡大学電子工学研究所

• 中村 篤志

  静岡大学大学院・電子科学研究科

• 清水 克美

  静岡大学電子工学研究所

• 天明 二郎

  静岡大学大学院電子科学研究科

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