酸素リモートプラズマMOCVD法によるZnO薄膜の成長と評価

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概要

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• 静岡大学の論文

著者

• 中村 篤志

  静岡大学電子工学研究所

• 天明 二郎

  静岡大学電子工学研究所

• 青木 徹

  静岡大学電子工学研究所

• 重盛 聡

  静岡大学電子工学研究所

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