Si基板上ZnMgO薄膜のレーザードーピングによる伝導性の制御

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概要

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• 映像情報メディア学会の論文
• 2005-01-28

著者

• 清野 俊明

  日本製鋼所

• 畑中 義式

  愛知工科大学

• 小南 裕子

  静岡大学電子工学研究所

• 中西 洋一郎

  静岡大学電子工学研究所

• 中村 篤志

  静岡大学電子工学研究所

• 畑中 義式

  静岡大学電子工学研究所

• 畑中 義式

  静岡大

• 青木 徹

  静岡大学電子工学研究所

• 原川 崇

  静岡大学電子工学研究所

• 大原 賢治

  電子科学研究科

• 大原 賢治

  静岡大学電子科学研究科

• 清野 俊明

  JSW株式会社 日本製鋼所

• 畑中 義式

  浜松ホトニクスKK静岡大学電子工学研究所

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