有機薄膜EL素子の発光特性のITO表面処理依存性(発光型・非発光型ディスプレイ合同研究会)
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概要
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有機EL素子は、各薄膜の膜厚が100nm以下と非常に薄いことから、基板の表面状態が素子の発光特性に影響を及ぼすと考えられる。そこで、まずITO基板と有機層界面の相互関係について調べた。ITOの表面状態を変えるために研磨またはケミカルエッチングを行い、そのITO基板上にCuPc/α-NPD/Alq3/Al薄膜を作製し、表面の観察および発光特性の評価を行った。未処理、研磨、エッチングの順で表面粗さは小さくなり、また有機層の表面形状はITOの表面形状に追随していることがわかった。現段階では、表面粗さの違いによる発光特性の明らかな差は認められていない。
- 2003-01-28
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