酸素リモートプラズマを用いたZnOのMOCVD成長

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概要

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• 2003-01-28

著者

• 田中 昭

  静岡大学電子工学研究所

• 天明 二郎

  静岡大学電子工学研究所

• 青木 徹

  静岡大学電子工学研究所

• 中村 篤志

  静岡大学大学院・電子科学研究科

• 清水 克美

  静岡大学電子工学研究所

• 田中 昭

  静岡大学大学院電子科学研究科・静岡大学電子工学研究所

• 天明 二郎

  静岡大学大学院電子科学研究科

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