SiC結晶の低温液相エピタキシャル成長における成長モード

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概要

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• 静岡大学の論文

著者

• 田中 昭

  静岡大学電子工学研究所

• 勝野 廣宣

  静岡大学電子工学研究所技術部

• 勝野 広宣

  静岡大学電子工学研究所

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