Co/Pd多層膜の膜厚方向特性分布の評価(磁気記録媒体)
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概要
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The Ar gas pressure P_<Ar>, the thicknesses of Co and Pd layers, and the number of layers were optimized in Co/Pd multilayers for perpendicular magnetic recording media. A high squareness ratio S and high coercivity H_c were obtained in a [Co (0.2 nm)/Pd (0.6 nm)]_<20> film prepared at P_<Ar> of 30 mTorr. The relationship between the surface roughness R_a and H_c was examined. It was concluded that the top region of the multilayers exhibited higher H_c, while the bottom region revealed degraded H_c. Large R_a and smaller grain size are essential for attaining high H_c in Co/Pd multilayers.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2003-04-01
著者
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学
-
孔 碩賢
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
吉川 裕紀
東京工業大学電子物理工学専攻
-
孔 碩賢
東京工業大学大学電子物理工学科
-
吉川 裕紀
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院
-
孔 碩賢
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学
-
吉川 裕紀
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学
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