3214 MEMS 技術を応用したアクティブヘッドスライダの開発
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper describes design and fabrication of MEMS-based active head sliders using a PZT thin films for flying height control in hard-disk drives. A structure of a slider with a pizeoelectric cantilever and an air bearing surface (ABS) geometry which generates very low aerodynamic lift force below the head have been designed. The slider was fabricated monolithically by silicon micromachining process. The slider was then mounted on the suspension and flying height above a spinning disk was measured. Change in the flying height of the head has been successfully confirmed by applying voltage to the PZT actuator.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-08-05
著者
関連論文
- 歯科患者ロボット-患者ロボット自動化のための高機能インターフェイス-
- 低侵襲脳外科手術における空間確保-脳を規範とした訓練用シミュレータの開発-
- トンボを規範としたはばたき機構の研究 : MEMS技術を用いた機体の製作(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 表面張力を利用した水面移動ロボットの研究 : 脚への作用力の検討と水陸両用ロボットの試作・実験(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 群知能ロボットの研究-マルチセンサ融合型群知能-
- 歯科患者ロボット : 歯科病院における矯正治療シミュレーション
- 表面張力を利用した水面移動ロボットの研究(機械力学,計測,自動制御)
- 表面張力を利用した液滴分離の研究
- 遠心力の作用を考慮した修正レイノルズ方程式の導出と浮動ブッシュ軸受への適用
- 成長するロボットの研究-身体的変化とロボット運動パターン-
- カイコハンドリングロボットの研究 : ステレオ画像処理とFMAを用いたハンドリングロボットの開発
- 成長するロボットの研究-身体変化と歩行パターン-
- 低侵襲脳外科手術における術野確保-様々な形状制御が可能なマスタの開発-
- 群知能ロボットの研究-飛行船と地上移動ロボットによる3D群行動-
- 歯科患者ロボット-全身動作と実習の自動化-
- 低侵襲脳外科手術における術野確保 -操作性を考慮したマスタ系の開発-
- 低侵襲脳外科手術における術野確保 : 冗長自由度マニピュレータ制御用マスタの開発
- ロボットの群知能の研究 -相互通信による群移動制御-
- コオロギ型跳躍ロボットの研究
- 410 エレクトロウェッティングを用いた微小物体の搬送(T03-2 マイクロナノ理工学:nmからmmまでのテクスチャリングの創成と機能(2),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1111 微小領域におけるトライボロジー特性評価 : 第2報:押付け荷重の影響(OS13-2 機械要素とトライボロジー(2),オーガナイズドセッション:13 機械要素とトライボロジー)
- 1110 微小領域におけるトライボロジー特性評価 : 第1報:摩擦速度の影響(OS13-2 機械要素とトライボロジー(2),オーガナイズドセッション:13 機械要素とトライボロジー)
- 病院内におけるパーソナルナビゲーションシステムの研究 -屋内インフラを利用した屋内測位システムの開発-
- 歯科患者ロボット : 治療時における不意の動作
- 歯科治療実習用患者ロボット
- 3B1-01 歯科治療実習用患者ロボットの開発(福祉ロボット)
- 歯科治療実習用患者ロボット -痛み表情の表出-
- 舌型多自由度ロボットの研究 -ロボットモデルの構築-
- 成長するロボットの研究 -シミュレーションによる乳児期の動作-
- S1104-2-4 微小領域におけるトライボロジー特性評価 : 第3報 : 触針の先端曲率半径の影響(トライボロジーの基礎と応用2)
- 13aXG-3 Si(001) 表面上の Fe ナノワイヤーの磁性 II(表面ナノ構造量子物性・表面局所光学現象, 領域 9)
- 27pPSA-51 Si(001)表面上のFeナノワイヤーの磁性(領域9ポスターセッション)(領域9)
- 撥水表面上の微小水滴の摩擦特性(マイクロナノ理工学,IIP2004 情報・知能・精密機器部門講演会)
- マイクロマシンのトライボロジー(マイクロナノ理工学,IIP2004 情報・知能・精密機器部門講演会)
- 浮上量制御スライダの動特性(情報機器コンピュータメカニクス2 -機構・制御,IIP2004 情報・知能・精密機器部門講演会)
- F-0527 撥水表面上の微小水滴の摩擦特性(J17-3 マイクロトライボロジー&プロセッシング(3))(J17 マイクロトライボロジー&プロセッシング)
- 3021 マイクロすべり軸受のトライボロジー設計
- Black Hole Entropy as T-duality invariant
- T1501-1-4 MENS技術を利用した気流センサの研究(マイクロ・ナノ技術のロボティクス応用(1))
- T1101-1-1 表面張力を利用した液滴の三次元輸送に関する研究(マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(1))
- S1104-2-1 プラズマ浸炭処理したチタンねじのナノインデンテーション特性評価(トライボロジーの基礎と応用2)
- マイクロ領域における摩擦特性(第1報)摩擦速度および押付け荷重の影響
- 201 ねじの締付けにおける摩擦係数の測定(材料力学I)
- 油膜の逆流とフィンガー状のキャビテーションを考慮したジャーナル軸受の熱流体潤滑性能
- 軸方向油膜破断を生じた超高速すべり軸受油膜の動特性解析と浮動ブッシュ軸受で支えられたロータの安定性解析への適用
- 208 小ねじの降伏点締付けによる考察(機素潤滑設計II)
- 低侵襲脳外科手術における術野確保 : 多自由度マニピュレータ制御用マスタ
- 4336 低侵襲脳外科手術における空間確保 : 操作性を重視したマスタ・マニピュレータの開発(S69-2 医療ロボット(2),S69 医療ロボット)
- 低侵襲脳外科手術における空間確保 : 直感的操作感をもつマスタマニピュレータの検討
- 543 MEMS技術を応用した水面移動ロボット(T05 マイクロ・ナノ技術のロボティクス応用,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 2308 振動を利用した水面移動ロボットに関する研究(要旨講演,一般セッション:マイクロナノ理工学)
- 3312 マイクロ加工表面を有する水面移動ロボットの研究(J26-3 マイクロメカトロニクス(3),J26 マイクロメカトロニクス)
- マイクロメカニズムにおける摩擦と潤滑(転がり・すべり要素の設計と制御)
- 群知能に関する研究
- DNA型多自由度柔軟ロボット生
- 成長するロボットの研究 : シミュレーションによる歩行再現
- 2307 液滴の表面張力を利用した微小物体の多自由度アクチュエーションに関する研究(要旨講演,一般セッション:マイクロナノ理工学)
- 2306 メニスカス力を利用した壁面歩行ロボットの研究(要旨講演,一般セッション:マイクロナノ理工学)
- 歯科用患者ロボット : 口腔内動作と患者反応の再現
- 多自由度ロボットの研究 : 基本ユニットの無線化
- 軸受面に摩耗痕を有する二円弧軸受の安定性 : 第2報,実験による理論の検証と非線形振動解析(機械力学,計測,自動制御)
- 軸受面に摩耗痕を有する二円弧軸受の安定性 : 第1報,理論解析(機械力学,計測,自動制御)
- 421 ティルティングパッドジャーナル軸受の安定性に関する研究 : 第2報,実験結果(ロータダイナミクス)
- DNA型多自由度柔軟ロボット
- 2A1-01 低侵襲脳外科手術における空間確保 : 直感的操作感をもつマスタ・マニピュレータの研究(CAS・デバイス)
- M7-1 トンボを規範とした羽ばたきロボットの研究 : MEMS技術を用いた翅の利用(M7 ナノ・マイクロシステム)
- 2E3-01 ヒトの成長をモデルとしたロボットの研究(歩行解析とモデル化・Robotics)
- 14pTM-3 第一原理計算による Si ナノ構造でのスピンと原子移動(主題 : 計算機ナノマテリアルデザイン・量子シミュレーション手法の開発と応用, 領域 3)
- 14pTM-3 第一原理計算による Si ナノ構造でのスピンと原子移動(主題 : 計算機ナノマテリアルデザイン・量子シミュレーション手法の開発と応用, 領域 11)
- 14pTM-3 第一原理計算による Si ナノ構造でのスピンと原子移動(主題 : 計算機ナノマテリアルデザイン・量子シミュレーション手法の開発と応用, 領域 4)
- M7-2 表面張力を利用した水面移動ロボットの研究(M7 ナノ・マイクロシステム)
- 1109 液滴の表面張力を利用した微小物体のアクチュエーションに関する研究(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 液滴の表面張力を利用したマイクロモータの研究
- 5509 液滴の表面張力を利用したマイクロモータの研究(J19-2 マイクロメカトロニクス(2),J19 マイクロメカトロニクス)
- 1007 マイクロ・ナノ転写法によるパターニング評価(OS13-5 機械要素とトライボロジー(5),オーガナイズドセッション:13 機械要素とトライボロジー)
- 104 圧電薄膜を利用したアクティブスライダの試作(情報機器コンピュータメカニクス1 : ヘッド・ディスク・インタフェース)
- MNS-09 INSECT-INSPIRED WALL-CLIMBING ROBOTS UTILIZING SURFACE TENSION FORCES(Micro/Nanosystem Science and Technology III,Technical Program of Oral Presentations)
- 大学生ボランティアのための携帯端末を用いた地域通貨システム(若手の会)
- 3214 MEMS 技術を応用したアクティブヘッドスライダの開発
- 3213 アクティブヘッドスライダの動特性解析と設計
- 3227 浮上量制御用アクティブヘッドスライダの開発
- 121 アクティブヘッドスライダの構造および浮上面の設計
- M4-5 エレクトロウェッティングを利用した液滴による搬送システムの研究(M4 ポンプ,液滴・気泡駆動)
- D-9-10 地域通貨支援システムにおけるサービスマッチング処理方式の提案(D-9. オフィスインフォメーションシステム, 情報・システム1)
- MNS-10 ELECTROWETTING-BASED ACTUATION OF LIQUID DROPLETS FOR MICRO TRANSPORTATION SYSTEMS(Micro/Nanosystem Science and Technology III,Technical Program of Oral Presentations)
- Self-assembly and magnetic actuation of three dimensional micro hinged mechanisms (特集 センサ・マイクロマシン作製における自己組織化)
- 研究速報「マイクロ流路を利用した生体分子レールの円状配向」
- 3034 マイクロオーダーにおける摩擦特性評価(第4報)(S82-2 サステイナブル・トライボロジー(2),S82 サステイナブル・トライボロジー)
- 20503 天然ゴムのトライボロジー特性(第3報)(機械要素・潤滑設計)
- 207 マイクロオーダーにおける摩擦特性評価(第3報)(機素潤滑設計II)
- 209 天然ゴムのトライボロジー特性(第2報)(機素潤滑設計II)
- 504 天然ゴムのトライボロジー特性(機械材料・材料加工)
- 3521 ナノインデンテーション法によるIF法破壊じん性評価(G03-14 非破壊技術,G03 材料力学)
- 薄膜のトライボロジー--評価法とマイクロ摩擦を中心に (特集1 ナノテクノロジー)
- 601 マイクロオーダーにおける摩擦特性評価(第2報)(トライボロジー)
- ポリイミドの熱収縮を用いた3次元マイクロ構造の自己組立の研究
- 2409 ポリイミドの熱収縮を用いた3次元マイクロ機構の研究(J22-2 材料特性計測とマイクロ機構,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
- ヒューマノイドロボット間のコミュニケーションに関する研究
- アメンボを規範とした水面移動ロボットの研究
- ローラースケートを用いたヒューマノイドロボットの滑走移動の研究