31p-TB-1 Si中の格子間酸素による1750cm吸収帯の起源

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1990-03-16

著者

• 金田 千穂子

  富士通研

• 金田 千穂子

  富士通研究所

• 金田 寛

  富士通 Ulsi開発部

• 金田 寛

  富士通(株)

• 金田 寛

  富士通プロセス開発部

• 小川 力

  富士通プロセス開発部

• 小川 力

  富士通(株)

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