28p-LE-1 格子間型不純物酸素によるシリコン結晶の低温弾性異常(半導体)

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概要

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• 一般社団法人日本物理学会の論文
• 1987-03-27

著者

• 金田 千穂子

  富士通研究所

• 藤村 忠雄

  東北大科研

• 田巻 明

  東北大科研

• 金田 寛

  富士通プロセス開発部

• 小川 力

  富士通プロセス開発部

• 和田 邦彦

  富士通プロセス開発部

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