3p-M-2 シリコン結晶中の孤立格子間不純物酸素による低温1116cm^<-1>赤外吸収線の発見と理論的解釈

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1996-03-15

著者

• 金田 寛

  富士通 Ulsi開発部

• 金田 寛

  富士通(株)

• 金田 寛

  富士通プロセス開発部

• 金田 寛

  富士通 プロセス開発部

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