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金田 寛 | 富士通 プロセス開発部
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概要
同名の論文著者
富士通 プロセス開発部の論文著者
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金田 寛
富士通(株)
金田 寛
富士通プロセス開発部
金田 寛
富士通 プロセス開発部
金田 寛
富士通 Ulsi開発部
小川 力
富士通(株)
小川 力
富士通 プロセス開発部
著作論文
27a-RA-5 熱膨張差に起因する多層構造円板の熱歪と熱応力の計算
3p-M-2 シリコン結晶中の孤立格子間不純物酸素による低温1116cm^赤外吸収線の発見と理論的解釈
2p-M-9 赤外および遠赤外吸収法によるシリコン中の酸素関連欠陥の特定と振動状態解析
27p-N-10 シリコン中の不純物酸素局在振動による1136cm^-1赤外吸収線の幅の温度依存性
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