2p-M-9 赤外および遠赤外吸収法によるシリコン中の酸素関連欠陥の特定と振動状態解析

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1996-03-15

著者

• 金田 寛

  富士通 Ulsi開発部

• 金田 寛

  富士通(株)

• 金田 寛

  富士通プロセス開発部

• 金田 寛

  富士通 プロセス開発部

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