赤外線で探るシリコン結晶中の酸素の運動

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1996-12-10

著者

• 金田 寛

  富士通 Ulsi開発部

• 金田 寛

  富士通(株)

• 金田 寛

  富士通プロセス開発部

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