酸素析出温度の異なるシリコン中の鉄のゲッタリング

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1996-09-13

著者

• 高橋 英樹

  富士通

• 末澤 正志

  東北大金研

• 金田 寛

  富士通ULSI開発部

• 金田 寛

  富士通研

• 金田 寛

  富士通 Ulsi開発部

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