27p-N-9 CZ-Si結晶のDZ内酸素析出関連欠陥に対するDLTS観測

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1995-09-12

著者

• 金田 寛

  富士通 Ulsi開発部

• 金田 寛

  富士通(株)

• 金田 寛

  富士通プロセス開発部

• 小飯塚 正明

  富士通 Ulsi開発部

• 小飯塚 正明

  富士通プロセス開発部

• 白川 良美

  富士通プロセス開発部

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