31a-E-13 Si結晶中の不純物酸素による30cm^<-1> 吸収帯のピーク強度比 : 理論と実験の比較

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1997-03-17

著者

• 金田 寛

  富士通 Ulsi開発部

• 金田 寛

  富士通(株)

• 金田 寛

  富士通プロセス開発部

• 金田 寛

  富士通 デバイス開発部

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