4a-YG-7 局在振動光励起によるSi中格子間酸素の増速拡散(理論的考察)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1994-08-16

著者

• 金田 寛

  富士通 Ulsi開発部

• 金田 寛

  富士通(株)

• 金田 寛

  富士通プロセス開発部

• 森 治久

  富士通プロセス開発部

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