森 治久 | 富士通プロセス開発部
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概要
関連著者
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富士通(株)基礎プロセス開発
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富士通プロセス開発部
著作論文
- 4a-YG-7 局在振動光励起によるSi中格子間酸素の増速拡散(理論的考察)
- 12a-DF-2 フォノン-共鳴モード-局在モード結合系の不純物赤外吸収
- 27p-H-4 Si結晶中のC-O複合体欠陥の熱的形成解離挙動 III