27p-H-4 Si結晶中のC-O複合体欠陥の熱的形成解離挙動 III

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1992-09-14

著者

• 金田 寛

  富士通 Ulsi開発部

• 金田 寛

  富士通(株)

• 金田 寛

  富士通プロセス開発部

• 白川 良美

  富士通(株)

• 森 治久

  富士通プロセス開発部

• 白川 良美

  富士通プロセス開発部

• 森 治久

  富士通(株)基礎プロセス開発

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