22pTD-14 低温超音波計測による商業ベースデバイス用シリコン結晶の原子空孔濃度分布測定(格子欠陥・ナノ構造(金属・半導体),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2007-08-21

著者

• 後藤 輝孝

  新潟大院自然

• 中村 慎太郎

  東北大金研

• 金田 寛

  新潟大物質量子セ

• 昆金 正敏

  新潟大院自然

• 金田 寛

  富士通 Ulsi開発部

• 根元 祐一

  新潟大院自然

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