小飯塚 正明 | 富士通 Ulsi開発部

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概要

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• 富士通 Ulsi開発部の論文著者

関連著者

• 金田 寛

  富士通 Ulsi開発部

• 金田 寛

  富士通(株)

• 金田 寛

  富士通プロセス開発部

• 小飯塚 正明

  富士通 Ulsi開発部

• 小飯塚 正明

  富士通プロセス開発部

• 小飯塚 正明

  富士通デバイス開発部

• 金田 寛

  富士通デバイス開発部

• 稲葉 三智子

  富士通デバイス開発部

• 白川 良美

  富士通プロセス開発部

著作論文

• 31a-ZA-9 シリコン結晶中の酸素析出物界面欠陥によるESR
• 8a-S-1 CZ-Si結晶中の酸素析出欠陥の作る不純物準位の熱的挙動
• 低温赤外吸収による高濃度ドープシリコン基板中の酸素濃度評価 -エピタキシャルウエハーへの適用-
• CZ-Si結晶中の酸素析出関連欠陥の作る不純物準位
• 3p-M-7 CZ-Si結晶のDZ内酸素析出関連欠陥に対するDLTS観測(II)
• 27p-N-9 CZ-Si結晶のDZ内酸素析出関連欠陥に対するDLTS観測

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