小飯塚 正明 | 富士通デバイス開発部

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概要

• 同名の論文著者
• 富士通デバイス開発部の論文著者

関連著者

• 金田 寛

  富士通 Ulsi開発部

• 金田 寛

  富士通(株)

• 金田 寛

  富士通プロセス開発部

• 小飯塚 正明

  富士通 Ulsi開発部

• 小飯塚 正明

  富士通デバイス開発部

• 金田 寛

  富士通デバイス開発部

• 稲葉 三智子

  富士通デバイス開発部

著作論文

• 8a-S-1 CZ-Si結晶中の酸素析出欠陥の作る不純物準位の熱的挙動
• 低温赤外吸収による高濃度ドープシリコン基板中の酸素濃度評価 -エピタキシャルウエハーへの適用-

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