25p-T-5 シリコン結晶中の不純物酸素による600cm^<-1>赤外吸収帯スペクトルとその起源に対する理論的説明

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1998-09-05

著者

• 高橋 英樹

  阪大理

• 金田 寛

  富士通ULSI開発部

• 高橋 英樹

  富士通ULSI開発部

• 金田 寛

  富士通研

• 高橋 英樹

  東北大院工

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