金田 寛 | 富士通ULSI開発部

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概要

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• 高橋 英樹

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  東北大金研

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  阪大理

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• 末澤 正志

  東北大・金研

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  東北大金研:(現)筑波大物理工学系

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著作論文

• 25p-T-5 シリコン結晶中の不純物酸素による600cm^赤外吸収帯スペクトルとその起源に対する理論的説明
• 30a-YK-4 シリコン中の鉄の析出過程
• 酸素析出温度の異なるシリコン中の鉄のゲッタリング
• 31a-ZA-6 シリコン中の水素・アクセプター対による光吸収

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