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高橋 英樹 | 富士通
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高橋 英樹
富士通
末澤 正志
東北大金研
角野 浩二
東北大金研
高橋 英樹
東北大金研
金田 寛
富士通ULSI開発部
金田 寛
富士通研
金田 寛
富士通 Ulsi開発部
著作論文
30a-YK-4 シリコン中の鉄の析出過程
酸素析出温度の異なるシリコン中の鉄のゲッタリング
30p-ZN-10 n型及びP型シリコン中の鉄拡散の活性化エネルギー
29p-K-3 シリコン中の鉄 : インジウム対形成過程
24a-T-4 シリコン中の鉄-アクセプタ対の形成過程
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