30p-ZN-10 n型及びP型シリコン中の鉄拡散の活性化エネルギー

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1992-03-12

著者

• 角野 浩二

  東北大金研

• 高橋 英樹

  富士通

• 末澤 正志

  東北大金研

• 高橋 英樹

  東北大金研

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