17pTG-8 水素ガス中加熱急冷法によるシリコン中の原子空孔形成エネルギーの研究

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2001-09-03

著者

• 末澤 正志

  東北大金研

• 末澤 正志

  東北大・金研

• 深田 直樹

  東北大金研:(現)筑波大物理工学系

• 深田 直樹

  物質材料研究機構

• 深田 直樹

  東北大・金研

• 深田 直樹

  物質・材料研究機構

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