1p-T-2 結晶シリコン中の水素分子の検出とその挙動
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1998-03-10
著者
-
村上 浩一
筑波大学 数理物質科学研究科 電子・物理工学専攻
-
北島 正弘
金属材料技術研究所
-
北島 正弘
金材技研
-
石岡 邦江
物材機構
-
石岡 邦江
金材技研
-
村上 浩一
筑波大数理物質(電子・物理)
-
藤村 修三
一橋大イノベーション研
-
村上 浩一
筑波大物質工
-
深田 直樹
東北大金研:(現)筑波大物理工学系
-
深田 直樹
物質材料研究機構
-
石岡 邦江
物質・材料研究機構 材料研究所
-
深田 直樹
筑波大物質工学系
-
藤村 修三
富士通(株)
-
藤村 修三
富士通株式会社
-
藤村 修三
富士通基礎プロセス開発部
-
藤村 修三
東工大
-
北島 正弘
物材機構:筑波大
-
北島 正弘
物質・材料研究機構物性解析研究グループ
-
藤村 修三
東京工業大学
-
深田 直樹
物質・材料研究機構
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