クリプトン酸素混合プラズマによるシリコン酸化中の表面応力変動
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概要
著者
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板倉 明子
物質・材料研究機構
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北島 正弘
金属材料技術研究所
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成島 哲也
物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所
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板倉 明子
金属材料技術研究所
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北島 正弘
物質・材料研究機構
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成島 哲也
筑波大学物理学科
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北島 正弘
物材機構:筑波大
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北島 正弘
物質・材料研究機構物性解析研究グループ
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板倉 明子
学習院大学理学部自然科学研究科
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成島 哲也
筑波大学物理学研究科
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