シリコンのプラズマ酸化における酸素イオンの効果
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概要
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- 1995-08-10
著者
-
菱田 俊一
物材機構
-
菱田 俊一
東京大学工学部工業化学科 : (現)東京大学理学部化学科
-
菱田 俊一
物質・材料研究機構 物質研究所
-
河辺 隆也
筑波大学物理学系
-
北島 正弘
金属材料技術研究所
-
菱田 俊一
無機材質研究所
-
河辺 隆也
筑波大学大学院物理学研究科
-
河辺 隆也
筑波大 物理学系
-
河邊 隆也
筑波大学物理学系
-
中村 一隆
金材研
-
中村 一隆
金属材料技術研究所
-
河辺 隆也
筑波大学物理学系 国際連合大学高等研究所兼任
-
菱田 俊一
科学技術庁無機材質研究所
-
北島 正弘
物材機構:筑波大
-
上岡 功
金材研:筑波大物理
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