2p-PSA-55 シリコンのプラズマ酸化の試料バイアス効果
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1994-08-16
著者
-
河辺 隆也
筑波大物理
-
北島 正弘
金属材料技術研究所
-
北島 正弘
金材技研
-
河辺 隆也
筑波大学大学院物理学研究科
-
河辺 隆也
筑波大 物理学系
-
河邊 隆也
筑波大学物理学系
-
中村 一隆
金材研
-
中村 一隆
金材技研
-
河辺 隆也
筑波大学物理学系 国際連合大学高等研究所兼任
-
上岡 功
金材技研
-
上岡 功
金材研:筑波大物理
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