シリコン酸化膜成長過程の表面応力変動
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概要
著者
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板倉 明子
物質・材料研究機構
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北島 正弘
金属材料技術研究所
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成島 哲也
物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所
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宮本 明
東北大学工学研究科
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板倉 明子
金属材料技術研究所
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成島 哲也
金属材料技術研究所
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寺石 和夫
東北大学大学院工学研究科材料化学
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宮本 明
東北大学工学部
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山田 有場
東北大学大学院工学研究科
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倉品 貴之
LSI Logic Japan Semiconductor Inc.
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寺石 和夫
東北大学工学研究科
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山田 有場
東北大学工学研究科
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北島 正弘
物材機構:筑波大
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北島 正弘
物質・材料研究機構物性解析研究グループ
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板倉 明子
学習院大学理学部自然科学研究科
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倉品 貴之
LSIロジックジャパンセミコンダクター (株)
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