ブリスタリングによる応力変調を利用した局所シリコン酸化の観察
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概要
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- 2004-09-10
著者
-
山本 博之
日本原子力研究開発機構
-
武藤 俊介
名古屋大学大学院工学研究科
-
田邊 哲朗
九大総理工
-
板倉 明子
物質・材料研究機構
-
北條 喜一
日本原子力研究所
-
武藤 俊介
大阪大学教養部
-
五十嵐 慎一
物質・材料研究機構
-
北島 正弘
物質・材料研究機構
-
中野 伸祐
名古屋大学大学院工学研究科
-
田辺 哲朗
名古屋大学大学院工学研究科
-
田辺 哲夫
名古屋大学
-
山本 博之
日本原子力研究所
-
田辺 哲朗
名古屋大学
-
北島 正弘
物材機構:筑波大
-
板倉 明子
学習院大学理学部自然科学研究科
-
武藤 俊介
名古屋大学
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