成島 哲也 | 金属材料技術研究所

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概要

• 同名の論文著者
• 金属材料技術研究所の論文著者

関連著者

• 板倉 明子

  物質・材料研究機構

• 北島 正弘

  金属材料技術研究所

• 成島 哲也

  物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所

• 板倉 明子

  金属材料技術研究所

• 成島 哲也

  金属材料技術研究所

• 北島 正弘

  物材機構:筑波大

• 北島 正弘

  物質・材料研究機構物性解析研究グループ

• 板倉 明子

  学習院大学理学部自然科学研究科

• 北島 正弘

  物質・材料研究機構

• 宮本 明

  東北大学工学研究科

• 西岡 泰城

  テキサスインスツルメント筑波研究開発センター

• 清水 達夫

  テキサスインスツルメント筑波研究開発センター

• 寺石 和夫

  東北大学大学院工学研究科材料化学

• 河辺 隆也

  筑波大学大学院物理学研究科

• 河辺 隆也

  筑波大 物理学系

• 宮本 明

  東北大学工学部

• 山田 有場

  東北大学大学院工学研究科

• 倉品 貴之

  LSI Logic Japan Semiconductor Inc.

• 寺石 和夫

  東北大学工学研究科

• 山田 有場

  東北大学工学研究科

• 河邊 隆也

  筑波大学物理学系

• 河辺 隆也

  筑波大学物理学系 国際連合大学高等研究所兼任

• 倉品 貴之

  LSIロジックジャパンセミコンダクター (株)

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著作論文

• 水素化が及ぼすシリコン表面の偏光解析パラメータの変化
• シリコン酸化膜成長過程の表面応力変動
• プラズマ酸化過程におけるSiの表面応力の研究

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