マイクロカンチレバー表面への分子吸着を利用した大気分析の新しい展望
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Cantilever-based stress sensors can be used for chemical or biochemical sensors. Gas molecules adsorbed or absorbed into a polymer layer which is coated on one side of a cantilever make surface stress at the interface of the film and the cantilever. The stress can be detected as a cantilever bending and a target gas pressure in the ambient of the sensor can be deduced. For high sensitivity, high selectivity and reproducibility of the sensor, we precisely defined the structure and mechanical properties of the absorbent film.
- 2012-08-20
著者
関連論文
- 水素化が及ぼすシリコン表面の偏光解析パラメータの変化
- 28p-YP-4 シリコン酸化表面の水素化に伴う偏光解析パラメータの変化
- ブリスタリングによる応力変調を利用した局所シリコン酸化の観察
- 研究環境向上と再チャレンジと : 人材データベース『人なび』
- シリコン酸化膜成長過程の表面応力変動
- プラズマ酸窒化中のシリコン表面応力変動
- 電子照射によるシリコンの表面応力の緩和
- クリプトン酸素混合プラズマによるシリコン酸化中の表面応力変動
- 30aXE-8 欠陥による表面応力の発生とその電子誘起緩和
- ドデカンチオールの脱離に伴う微少応力の変動
- プラズマ酸化過程におけるSiの表面応力の研究
- 26p-YR-16 バイアスを印可したプラズマ酸化過程におけるSi表面応力の研究II
- 26p-YR-15 バイアスを印可したプラズマ酸化過程におけるSi表面応力の研究I
- 酸化物超電導体を用いた磁気浮上型搬送装置
- 1.偏光解析法による希ガス吸着層の観察(学習院大学理学部自然科学研究科,修士論文題目・アブストラクト(1987年度)その1)
- 30aYL-6 物質材料研究機構の女性研究者支援モデル(30aYL 物理と社会シンポジウム:研究・教育の場における男女共同参画-拡大する女性研究者支援と今後の展望,物理と社会)
- 30aYL-6 物質材料研究機構の女性研究者支援モデル(30aYL 物理と社会シンポジウム:研究・教育の場における男女共同参画-拡大する女性研究者支援と今後の展望,物理と社会)
- 30aYL-6 物質材料研究機構の女性研究者支援モデル(30aYL 物理と社会シンポジウム:研究・教育の場における男女共同参画-拡大する女性研究者支援と今後の展望,物理と社会)
- 30aYL-6 物質材料研究機構の女性研究者支援モデル(30aYL 物理と社会シンポジウム:研究・教育の場における男女共同参画-拡大する女性研究者支援と今後の展望,物理と社会)
- 混合被膜からの析出現象を利用したBN処理膜の結晶構造
- 「第49回真空夏季大学開催」報告
- 第48回真空夏季大学開催報告
- Hydrogen Permeation Properties of BN-coated Stainless Steel Membranes (国際会議ICWES11論文特集「環境保全のための科学と技術」)
- 極高真空一貫プロセスにおける試料の搬送と授受
- BNコーティングによるステンレス鋼隔膜の水素透過の抑制
- 磁気浮上型極高真空搬送システム
- 表面析出現象を利用したガス放出量の低減化 (これからの真空材料を探る)
- 長距離搬送システム用の大型極高真空装置の試作
- ステンレス隔膜の水素透過特性に及ぼすBNコーティングの効果
- 薄膜材料の動的挙動とその制御 物質・材料研究機構 材料研究所 反応・励起ダイナミックスグループ
- マイクロカンチレバー表面への分子吸着を利用した大気分析の新しい展望