29a-T-1 シリコンのプラズマ酸化と表面電位の変動

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人日本物理学会の論文
• 1995-03-16

著者

• 河辺 隆也

  筑波大物理

• 北島 正弘

  金属材料技術研究所

• 北島 正弘

  金材技研

• 河辺 隆也

  筑波大学大学院物理学研究科

• 河辺 隆也

  筑波大 物理学系

• 河邊 隆也

  筑波大学物理学系

• 中村 一隆

  金材研

• 中村 一隆

  金材技研

• 河辺 隆也

  筑波大学物理学系 国際連合大学高等研究所兼任

• 上岡 功

  金材技研

• 北島 正弘

  物材機構:筑波大

• 上岡 功

  金材研:筑波大物理

関連論文

• 6a-R-13 強磁場中の乱流加熱実験(The MACH II)XXIII : マイクロ波散乱III
• 6a-D-10 強磁場中の乱流加熱実験(THE MACH II) XIX : サイクロトロン輻射
• 6a-D-9 強磁場中の乱流加熱実験(THE MACH II)XVIII : マイクロ波散乱II
• 4p-H-3 強磁場中の乱流加熱実験(THE MACH II) XIII : マイクロ波散乱
• 4p-H-2 強磁場中の乱流加熱実験(THE MACH II) : μ波輻射
• 569 原子力製鉄用耐熱合金の還元ガス中における高温特性(耐熱鋼・耐熱合金, 性質, 日本鉄鋼協会第 101 回(春季)講演大会)
• 水素化が及ぼすシリコン表面の偏光解析パラメータの変化
• 28p-YP-4 シリコン酸化表面の水素化に伴う偏光解析パラメータの変化
• 1a-CB-1 プラズマ中へのイオンビーム斜め入射による不安定性 III
• 11a-L-7 強磁場中の乱流加熱実験(THE MACH II)XXIV : X線測定
• 6a-D-7 強磁場中の乱流加熱実験(THE MACHII 16X ray測定)
• 4p-H-5 強磁場中の乱流加熱実験(THE MACH II 15 X-ray測定)
• 12p-P-10 強磁場中の乱流加熱実験(THE MACH II)-X-Mass Dependence
• 30a-F-6 GAMMA6Aにおける水平入射によるミラープラズマ閉じ込めII
• 6a-S-9 大電流パルスイオンビームのミラーへの入射
• 6a-R-12 強磁場中の乱流加熱実験(The MACH II)XXII : C-probe(3)
• 6a-R-11 強磁場中の乱流加熱実験(The MACH II)XXI : 電流分布
• 6a-D-11 強磁場中の乱流加熱実験(THE MACH II) XX
• 2p-B-6 強磁場中の乱流加熱実験(THE MACH II) IIX : 分光測定
• 2p-B-5 強磁場中の乱流加熱実験(THE MACHII)XI : 波動II
• 12a-F-11 強磁場中の乱流加熱実験IV : S.E.D
• 12a-F-10 強磁場中の乱流加熱実験III : 波動
• 3p-KU-5 強磁場中の乱流加熱実験 II
• 22a-B-7 乱流加熱実験 XI : マイクロ波ふく射
• 22a-B-6 乱流加熱実験 X : RAIKO
• 22a-B-5 強磁場中の乱流加熱実験 I
• 4a-J-2 乱流加熱実験 IX : イオン加熱
• 5p-R-7 乱流加熱実験 VIII : Phase II
• 5p-R-6 乱流加熱の実験 VII : Phase I
• 3p-Q-1 イオンの乱流加熱
• 17a-F-5 乱流加熱実験 V -粒子測定-
• 17a-F-4 乱流加熱実験 IV 探針による振動の測定
• 17a-F-3 乱流加熱実験 III HeI,IIのライン・プロフィール
• 17a-F-2 乱流加熱実験 II レーザー散乱による電子温度測定
• 17a-F-1 乱流加熱実験 I ダイナミックス
• 30p-D-16 ガンマ6でのビーム生成ホットイオンの特生と電子温度増加による閉じ込め電位の増加
• 1p-Q-14 複合ミラー磁場装置(GAMMA6)によるプラズマの閉じ込め II
• 高張力鋼溶接熱影響部における部分溶融域の形成について(第 1 報) : 部分溶融域の観察と偏析
• 31a KF-9 GAMMA6への相対論的電子ビームの入射 II
• 3a-CC-8 電子ビーム入射によるミラープラズマの閉じ込めと加熱
• シリコンプラズマ酸化過程の Tight-binding 分子動力学シミュレーション
• 固体中の水素のラマン分光
• シリコン酸化膜成長過程の表面応力変動
• NF_3とSi基板の相互作用:密度汎関数法による検討
• Tight-binding分子動力学法を用いたSi表面の酸化過程におけるSiOの脱離挙動
• シリコン表面の酸化反応ポテンシャル曲面の計算
• 第2回「原子力極限環境下の材料化学」国際シンポジウム
• 原子力極限環境材料の開発
• シリコンのプラズマ酸化の偏光解析研究
• プラズマ酸窒化中のシリコン表面応力変動
• 電子照射によるシリコンの表面応力の緩和
• クリプトン酸素混合プラズマによるシリコン酸化中の表面応力変動
• 30aXE-8 欠陥による表面応力の発生とその電子誘起緩和
• ドデカンチオールの脱離に伴う微少応力の変動
• 6a-D-8 強磁場中の乱流加熱実験(The Mach II) : C-probe(2)
• 4p-H-4 強磁場中の乱流加熱実験(THE MACH II) XIII : 高インピーダンスプローブ
• 4p-H-1 強磁場中の乱流加熱実験(THE MACH II) XI : 表皮効果
• 31a KF-11 GAMMA6への相対論的電子ビーム入射 IV : イオン加熱
• 31a KF-10 GAMMA6への相対論的電子ビームの入射 III
• 4a-CN-6 GAMMA 6(三重ミラー)への相対論的電子ビームの入射 I
• 3a-CC-5 ミラープラズマ中の電子ビームによる電位閉じ込め II
• 10a-J-5 ミラープラズマへのイオンビームの斜め入射による不安定性
• 9a-K-6 ミラープラズマ中の電子ビームによる電位の変化
• 6a-S-10 ミラープラズマ中へのイオンビームの入射I
• 6a-S-5 インヤンコイル磁場におけるプラズマのRF閉じ込め
• 29p-PSB-17 高時間分解偏光解析によるSi酸化超薄膜成長の実時間観察
• 31p-D-12 大電流パルスイオンビームの伝播 VII
• 2p-P-9 大電流パルスイオンビームの伝播 VI
• 2p-D-11 大電流パルスイオンビームの複合ミラー装置(γ-6)への入射
• 3a-CC-3 筑波大三重ミラー(ガンマ6)中プラズマの特性
• 2p-B-7 強磁場中の乱流加熱実験(THE MACHII)VI : レーザー散乱
• はじめに
• 高温Ge(100)表面のO_2分子線散乱による反応生成物GeOの共鳴多光子イオン化
• 29a-T-1 シリコンのプラズマ酸化と表面電位の変動
• 2p-PSA-55 シリコンのプラズマ酸化の試料バイアス効果
• 29p-WC-5 生成脱離SiO分子の多光子イオン化検出によるSi表面酸化の研究
• 13a-PS-9 高速偏光解析によるSi表面酸化超薄膜成長速度の基板結晶方向依存
• 13a-DK-2 希ガスイオン照射によるグラファイト結晶乱れ速度のイオン質量依存性
• 12p-J-1 CO_2レーザー散乱による乱れの計測
• 27p-Z-3 複合ミラー磁場装置(GAMMA 6)によるプラズマの閉込め
• 9a-K-4 極小磁場中における高温プラズマの生成(GAMMA IIA→6)
• 30p-B-8 ミラー磁場への電子ビーム斜入射
• 30a-Y-11 重イオンビームによるプラズマ電位の測定 V
• 27p-Z-4 GAMMA6への相対論的電子ビーム入射 VI : X線測定
• 5a-G-6 複合ミラー核融合炉(GAMMAR)の検討
• 2a-D-8 GAMMA6への相対論的電子ビーム入射 V : 伝播
• 2a-D-7 GAMMA6への相対論的電子ビーム入射 VI : 加熱・閉じ込め
• 1p-Q-13 複合ミラー磁場装置(γ-6)のプラズマの電位測定
• 29p-ZC-6 ミラー型核融合プラズマ中性子源のFokker-Planckシミュレーション(プラズマ物理・核融合)
• 3a-CD-6 パルスイオンビームの磁気ミラーへの捕捉
• 30p-B-6 GAMMA6におけるDCLC実験 そのII
• 28a-Q-3 グロー放電で観測される不規則振動現象
• 5a-S-12 核融合プラズマ中性子源による宇宙物理学実験III : 分布関数を考慮した解析
• 6a-F6-10 ミラープラズマの端損失と径方向輸送
• 28a-Q-2 GAMMA-6AにおけるDCLC不安定性のシミュレーション
• 3p-CC-11 負イオンビームによるプラズマポテンシャルの測定 (II)
• 12a-J-5 磁場中プラズマの電位測定
• 5a-D-13 負イオンビームによるプラズマ電位の測定 IV
• 1p-YM-12 直流グロー放電に励起される不規則振動の研究(1pYM プラズマ物理・核融合(プラズマ基礎),プラズマ物理・核融合)
• 1a-YM-6 DCLCモードの励起激現象シミュレーション(1aYM プラズマ物理・核融合(プラズマ基礎),プラズマ物理・核融合)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク