28pYC-5 Si中の不純物対の再結合促進解離反応

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2001-03-09

著者

• 末澤 正志

  東北大金研

• 末澤 正志

  東北大・金研

• 高橋 亨

  東北大・金研

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