直接貼り合わせ法によって形成したSiウエハの人工界面の透過電顕観察
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概要
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- 1999-05-01
著者
-
末澤 正志
東北大・金研
-
関口 隆史
独立行政法人 物質・材料研究機構
-
関口 隆史
物材機構
-
池田 賢司
東北大・金研
-
伊藤 俊
東北大学金属材料研究所
-
関口 隆史
物材研
-
関口 隆史
東北大理
-
関口 隆史
東北大・金研
-
関口 隆史
金属材料研究所
-
関口 隆史
物質・材料研究機構半導体材料センターグループ
-
関口 隆史
物質・材料研究機構ナノマテリアル研究所
-
伊藤 俊
東北大・金研
-
関口 隆史
物質・材料研究機構半導体材料センター
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