27a-S-3 Si(001)off基板の成長メカニズム

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1987-09-16

著者

• 坂本 邦博

  電総研

• 三木 一司

  電総研

• 長尾 哲

  三菱化成総研

• 三木 一司

  電子技術総合研究所

• 橋口 原

  中央大理工

• 長尾 哲

  三菱化成

• 坂木 統徳

  電総研

• 高橋 直

  明治大工

• 国吉 克哉

  明治大工

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