27a-P-7 UHV-STMによるSi清浄表面の観察
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1987-09-16
著者
-
阪東 寛
産総研
-
村上 寛
産総研
-
阪東 寛
電総研
-
杉原 和佳
(株)東芝マイクロエレクトロニクス研究所
-
村上 寛
電子技術総合研究所
-
梶村 皓二
電総研
-
坂本 邦博
電総研
-
三木 一司
電総研
-
酒井 明
京都大学工学部付属メゾ材料研究センター
-
三木 一司
電子技術総合研究所
-
村上 寛
電総研
-
堀池 靖浩
(株)東芝
-
徳本 洋志
電総研
-
小野 雅敏
電総研
-
小野 雅敏
電総研極限技術部
-
堀池 靖浩
東大院工
-
堀池 靖浩
東芝超lsi研:現広大工
-
岡野 真
電子技術総合研究所
-
小野 雅敏
電子技術総合研究所
-
梶村 皓二
筑波大物質工:電総研
-
小野 雅敏
電子技術総合研究所極限技術部
-
赤間 善昭
(株)東芝研究開発センターULSI研究所
-
岡野 真
電総研
-
酒井 明
東芝超LSI研
-
杉原 和佳
東芝超LSI研
-
赤間 善昭
東芝超LSI研
-
脇山 茂
セイコー電子工業
-
杉原 和佳
(株)東芝
-
堀池 靖浩
東洋大学工学部電気電子工学科
-
堀池 靖浩
極端紫外線露光システム技術開発機構(euva)
-
脇山 茂
セイコー電子工業(株)科学機器事業部技術ー部技術 2g
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