31p-F4-13 UHV-STMによるSi表面の観察(II)(表面・界面)
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概要
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- 一般社団法人日本物理学会の論文
- 1988-03-31
著者
-
阪東 寛
電総研
-
杉原 和佳
(株)東芝マイクロエレクトロニクス研究所
-
梶村 皓二
電総研
-
坂本 邦博
電総研
-
三木 一司
電総研
-
村上 寛
電総研
-
徳本 洋志
電総研
-
小野 雅敏
電総研
-
岡野 真
電総研
-
酒井 明
東芝超LSI研
-
杉原 和佳
東芝超LSI研
-
脇山 茂
セイコー電子工業
-
板東 寛
電子技術総合研究所
-
杉原 和佳
(株)東芝
-
脇山 茂
セイコー電子工業(株)科学機器事業部技術ー部技術 2g
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