垂直MRAM用スピン偏極増強用FeCo層およびMgOバリア層の結晶性向上
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概要
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Rare-earth-transition metal (RE-TM) alloy films, such as TbFeCo and GdFeCo layers were used as perpendicularly magnetized layers for pinned and free layers in a perpendicular magnetic tunneling junction (p-MTJ). (100) oriented MgO tunneling barrier layer can be deposited on (100) oriented Fe (and FeCo) buffer layers. The (100) texture of the Fe (and FeCo) layers were enhanced by depositing them on the RE-TM layers. X-ray diffraction study clarified that MgO layers deposited on the Fe (and FeCo) layers revealed apparent (100) orientation at the early stage of the film growth. 3nm-thick MgO layer deposited on GdFeCo(100nm)/Fe(3nm) exhibited (100) texture.
- 社団法人粉体粉末冶金協会の論文
- 2008-02-15
著者
-
中川 茂樹
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
中川 茂樹
東京工業大学
-
中川 茂樹
東工大
-
大森 秀人
東京工業大学電子物理工学専攻
-
羽鳥 友哉
東京工業大学 大学院理工学研究科 電子物理工学専攻
-
羽鳥 友哉
東京工業大学大学院理工学研究科電子物工学専攻
-
大森 秀人
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
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