スパッタリング法によるBi-Sr-Ca-Cu-O薄膜作成プロセスにおける熱処理の影響 (酸化物系超伝導物質と材料) -- (一般投稿)
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概要
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Superconducting thin films of Bi-Sr-Ca-Cu-O system have been prerared on MgO substrates by RF-magnetron sputtering using Bi<SUB>1</SUB>Sr<SUB>1</SUB>Ca<SUB>1</SUB>Cu<SUB>2</SUB>O<SUB>x</SUB> powder target. The as-sputtered films deposited at room temperature were amorphous insulators. After annealing, the films exhibited a superconducting transition at about 80K and characteristics of the films changed remarkably. The effect of the annealing process on superconductivity, surface condition, composition and orientation of the films were investigated.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
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