ジョセフソントンネル接合作製のための酸化物格子工学
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概要
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ジョセフソントンネル接合を目指して我々が開発してぎた格子工学技術を概説する。高品質(平坦・高Tc ・クラックフリー) a軸配向Yba_2Cu_3O_<7-δ>を作製するためのバッファー層技術を確立した。湿式プロセスによるSrTiO_3基板の超平坦化技術の開発は、理想的な酸化物の二次元成長を可能にし、レーザーMBE法の成熟度を高めた。これらの技術をべースにS-I-S(超伝導層-絶縁層-超伝導層)サンドイッチ構造を作製し、デバイスを形成した。集束イオンビームで加工したデバイス断面の微細構造評価を行い、設計通りの構造形成が可能になってぎた状況を紹介する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-02-21
著者
-
石田 洋一
東京工業大学 応用セラミックス研究所
-
鯉沼 秀臣
東京工業大学工業材料研究所
-
鯉沼 秀臣
東京大学工学部工業化学科
-
川崎 雅司
東京工業大学大学院総合理工学研究科
-
石田 洋一
東京大学工学部
-
白石 正
東海大学工学部通信工学科
-
白石 正
東海大学工学部
-
神田 直樹
東京工業大学応用セラミクス研究所
-
土屋 龍太
東京工業大学大学院総合理工学研究科
-
鯉沼 秀臣
(独)科学技術振興機構 研究開発戦略センター
-
鯉沼 秀臣
東京工業大学
-
久保田 秀幸
東京工業大学・工業材料研究所
-
仲野 研一
東海大学工学部
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