超音波マイクロスペクトロスコピー技術による石英ガラスの評価法 : 音響特性の仮想温度依存性におけるOHとClの影響

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概要

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本報では、超音波マイクロスペクトロスコピー技術による石英ガラスの評価方法について検討を行った。OH濃度およびCl濃度が異なる6種類の合成石英ガラスを用意した。試料を異なる温度で熱処理することにより、仮想温度の異なる試料を用意した。試料に対して、縦波音速、漏洩弾性表面波速度、密度を測定した。音響特性の仮想温度依存性、OH濃度依存性、Cl濃度依存性を求めた。その結果、音響特性は仮想温度に対する感度が高く、OH濃度やCl濃度による影響は小さいことがわかった。縦波音速測定は、石英ガラスの仮想温度分布を評価するのに有用である。
一般社団法人電子情報通信学会の論文
2012-09-17

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