LFB超音波材料解析システムによるSHタイプSAWデバイス用LiTaO_3単結晶基板の評価
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概要
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- 2001-03-01
著者
-
櫛引 淳一
東北大学大学院工学研究科
-
大橋 雄二
東北大学大学院工学研究科
-
櫛引 淳一
東北大院・工
-
大橋 雄二
東北大院・工
-
氏家 敬明
東北大院・工
-
北澤 正明
東北大院・工
-
佐藤 喜紀
東北大院・工
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