直線集束ビーム超音波材料解析システムによるLiTaO_3分極反転層作製プロセスの定量評価
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概要
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直線集束ビーム超音波材料解析システムをプロトン交換および熱処理により作製したLiTaO_3分極反転層の評価に適用した。3枚のZ-cut LiTaO_3基板を260℃で20分プロトン交換し、それぞれ520℃、540℃、560℃で30秒熱処理し、さらに420℃で6時間アニーリングした。これにより、-Z面と+Z面の両面に深さプロファイルが同じプロトン拡散層が形成されるとともに、-Z面にそれぞれ深さ0.5μm、1.9μm、および3.3μmの分極反転層が形成される。-Z面と+Z面の漏洩弾性表面波(LSAW)速度の差が、分極反転層の形成による本質的なLSAW速度変化を与えることを示した。また、LSAW速度差と分極反転層の深さおよび熱処理条件(時間、温度、および拡散係数)との関係を実験的に求めた。540℃で熱処理した試料の均一性を評価したところ、225MHzの超音波周波数において2.6m/sのLSAW速度分布が見られた。これは0.19μmの深さ分布、2.1℃の温度分布に対応する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-09-19
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