六方晶系圧電単結晶の高精度音響関連物理定数決定に関する理論的検討
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概要
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直線集束ビーム(LFB)/平面波(PW)超音波材料解析(UMC)システムを用いた、六方晶系圧電単結晶(6mm)の高精度な音響関連物理定数(弾性定数、圧電定数、誘電率、密度)の決定方法について理論的な検討を行なった。できるだけ少ない試料数で定数決定が行なえるよう、バルク波音速と漏洩弾性表面波(LSAW)速度を併用する方法を採用した。各定数の変化に対する感度が高く、決定される定数の誤差を小さくする適切な縦波およびLSAWの伝搬方向の組合せを、文献値(AlN、GaN、ZnO、6H-SiC)を用いた計算により選択した。結果として、Y板、Z板、回転Y板(AlN,GaN,ZnOに対しては(1011)面、6H-SiCに対しては(1015)面)の3枚の試料を用いて、3つの縦波音速、3つの横波音速、2つのLSAW速度から定数決定を行なう手順を確立した。
- 2006-09-15
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